“人类科技之巅”光刻机技术的发展年鉴IM体育

  IM体育IM体育随着中美冲突加深,芯片卡脖子问题凸显,光刻机作为半导体产业中最重要的部分也逐渐为人所熟知。

“人类科技之巅”光刻机技术的发展年鉴IM体育(图1)

  光刻机是一种投影曝光系统:光刻机由光源、照明系统、物镜、工件台等部件组装而成。

  在芯片制作中,光刻机会投射光束,穿过印有图案的光掩膜版及光学镜片,将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上。通过蚀刻曝光或未受曝光的部分来形成沟槽,再进行沉积、蚀刻等工艺形成线路。

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  GCA发明了第一个商业化应用于半导体制造的步进和重复掩膜设备(第一台光刻机)此后,Kapser instrument和perkinElmer公司先后推出了对准,投影光刻技术。

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  尼康发布第一台商用步进式光刻机NSR-1010G。1984年尼康与GCA各占据30%市场份额,同年ASML刚刚成立。

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  ASML发布TWINSCAN双工件光刻机平台,生产效率提升35%以上。2003年,ASML与台积电合作推出浸没式光刻机,摩尔定律实现了一次。

  从1961年开始,第一台接触式光刻机由美国GCA推出,历经60年的发展,ASML后来者居上,已经成为当前光刻机行业的绝对龙头

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