爱科赛博董秘回复: 同步辐射光源目前作为光刻机技术的潜在路线IM体育

  证券之星消息,爱科赛博(688719)11月03日在者关系平台上答复者关心的问题。

  者:公司已为上海同步辐射光源和高能同步辐射光源供应特种电源,同步辐射光源从原理上可以作为光刻机的潜在技术路线,请问公司是否有相关光刻机潜在技术路线的特种电源技术储备?

  爱科赛博董秘:尊敬的者您好,同步辐射光源目前作为光刻机技术的潜在路线,我司已经参与上海同步辐射光源与高能同步辐射光源项目,并且其相关技术也应用于其他光源项目,详细信息已在公司招股说明书中披露,敬请参阅。感谢您的关注。

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